3月25日至29日,以“科技创新与产业创新深度融合”为主题的2026中关村论坛年会在北京举行。北京中科科仪光电科技有限公司(以下简称“科仪光电”)受邀携旗下超高分辨场发射扫描电镜KYKY-EM8200亮相“打造原始创新策源地”展区,凭借先进的微观观测性能与自主创新技术,成为展会现场聚焦国产高端科学仪器突破的亮点展品。

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一、聚力自主技术攻关,实现关键性能突破

本次参展的KYKY-EM8200超高分辨场发射扫描电镜,是科仪光电聚焦电子光学技术的新一代旗舰产品,各项核心性能指标达到先进水平,适配前沿科学研究与高端产业检测需求。

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该款电镜具备全新高分辨电子光学系统,突破了新一代低像差物镜、减速样品台及低噪声Inlens探测器等多项自主创新技术,15kV加速电压下极限分辨率可达0.8nm,1kV低压下分辨率达1.5nm,能够清晰捕捉材料、半导体、生物、纳米科技等领域样品的亚纳米级表面结构。KYKY-EM8200电镜提升了全量程加速电压下的分辨本领,即便在低压工况下,也能实现不导电样品无喷镀直接观测,大幅拓展了应用场景,有效避免样品损伤。

同时,该款电镜全面提高了操作智能化水平,集成复合图像质量增强、超分辨图像重构、跨模态图像融合及动态分析等技术,实现分析效率与使用体验的双重提升,为科技创新与产业升级提供关键科学仪器支撑。

二、六十载匠心传承,铸就国产电镜创新根基

科仪光电作为北京中科科仪股份有限公司(下称中科科仪)的全资子公司,全面继承了其六十余年的电子光学核心技术积淀与完善的产业化体系,是中科科仪聚焦高端科学仪器板块、加速科技成果产业化转化的核心战略布局。

中科科仪前身为中国科学院科学仪器厂,拥有逾六十年的电镜自主研发历史,一路填补国内多项技术空白,见证并推动我国电子光学仪器产业从无到有、从弱到强的完整发展历程。早在1965年,中国科学院科学仪器厂成功自主研制DX-2型透射电镜,分辨率5Å,被全国仪器仪表新产品展览会列为重大新产品在展馆展出。

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1975年,自主研发出我国首台扫描电子显微镜DX-3型,分辨率达10nm,斩获全国科学大会一等奖与中科院重大科技成果奖一等奖,研发团队获国务院总理亲笔题词荣誉证书,坚实奠定了国产扫描电镜的发展基础。

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1989年,中国科学院科学仪器厂研制成功我国第一台带有数字图像处理功能的扫描电镜KYKY-2000型,分辨率5nm,荣获1994年中国科学院科技进步奖二等奖,获得第三届BCEIA金奖。

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2014年成功研制我国首台场发射扫描电子显微镜KYKY-EM8000型,打破国外长期技术垄断,2017年推出KYKY-EM8100型场发射电镜,获评北京市首台(套)重大技术装备。

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2024年,成功研制超高分辨场发射扫描电镜KYKY-EM8200,突破新一代低像差物镜、减速样品台及低噪声Inlens探测器等多项自主创新技术,分辨率突破0.9nm,为前沿科学研究与高端产业检测提供性能优越的解决方案。

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从初代国产电镜到如今高分辨场发射电镜,中科科仪始终坚守“创新科学仪器,发展一流企业”的使命,扎根原始创新一线,全力攻克高端科学仪器“卡脖子”技术,为国内基础科学研究、战略新兴产业发展提供坚实支撑。

未来,科仪光电将继续依托中科科仪的技术底蕴,持续加大电子光学核心技术研发投入,不断优化高端电镜产品性能,推动更多自主创新成果产业化落地,为实现国家科技自立自强贡献力量。