光刻机
荷兰光刻机巨头阿斯麦:中国的DUV光刻机订单均已交付
2023年两个型号DUV(深紫外)光刻机已获准的出口许可证突然遭到撤销,不过,中国大陆客户预付购买DUV光刻机所积压订单基本都已完成交付。
佳能新发售KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”Grade10升级包
“Grade10”升级包将助力该设备在300mm晶圆规格基础上,以每小时高达300片晶圆的加工能力实现半导体光刻行业内的更高水平。.
2023年两个型号DUV(深紫外)光刻机已获准的出口许可证突然遭到撤销,不过,中国大陆客户预付购买DUV光刻机所积压订单基本都已完成交付。
“Grade10”升级包将助力该设备在300mm晶圆规格基础上,以每小时高达300片晶圆的加工能力实现半导体光刻行业内的更高水平。.