攻坚“小光刻机”！惠然微电子王志刚谈电子束量测装备的国产突围之路成海 产品线全面覆盖关键尺寸量测设备CD-SEM、电子束缺陷检测设备EBI、科研用扫描电镜SEM、聚焦离子束FIB-SEM等。 半导体量测设备 2026-08-31
