宝立超合金316LVV:打破国外垄断,助力国产半导体设备自主可控
宝立超合金的316LVV在夹杂物、腐蚀率、放气量等核心指标上全面超过日本大同料,并在之后的装机实测中经受住了电子特气的严苛考验。
宝立超合金的316LVV在夹杂物、腐蚀率、放气量等核心指标上全面超过日本大同料,并在之后的装机实测中经受住了电子特气的严苛考验。
全新超紧凑平台集成原位光刻胶厚度测量与晶圆边缘曝光功能,兼具 EVG®150 级别性能,在更小占地空间内实现高度灵活性。
12英寸晶圆、28nm以下先进制程用功能性湿电子化学品,仍然高度依赖进口,G5级超高纯产品国产化率不足20%。