交流协作丨盖泽联合复旦学术团队,对半导体量测技术展开深入合作! 双方就半导体FTIR膜厚量测、元素浓度测量、椭偏膜厚量测等技术在晶圆前道量测过程中的要点进行了深入交流。 半导体量测技术 2025-08-26