北京清大天达光电科技股份有限公司（以下简称“清大天达”），为国家高新技术企业、北京市“专精特新”中小企业。清大天达深耕电子专用智能装备研发与产业化多年，聚焦MEMS传感器全制程自动化生产核心赛道，打造覆盖红外MEMS器件精密组装、真空焊接、精密清洗、微观检测、性能终测的全制程智能装备体系，可提供落地的标准化、规模化的红外MEMS传感器智能制造整体解决方案，助力产业链提质增效、实现智能制造的工艺技术持续迭代。

清大天达具备机、电、光、热、气多领域一体化集成核心技术，深度适配红外MEMS器件微纳制造、真空封装、精密测试的特殊工艺要求，自主研发系列化高精度、高稳定性的专用自动化装备。整套系统可替代传统人工及半自动化作业模式，有效解决制造过程中产品偏差大、良率波动大、批次一致性差的行业痛点，全面提升产品良率与量产稳定性。全系设备工艺适配性强、工序可无缝联动，构建了国内完备的红外MEMS器件专用智能制造装备矩阵，可满足规模化、标准化、精密化量产需求。

制冷型红外焦平面探测器制造方面，杜瓦组件是制冷型红外焦平面探测器的核心封装部件，其真空封装精度、密封可靠性直接决定了探测器的成像性能、制冷寿命与长期工作稳定性。

清大天达为解决杜瓦组件的装配问题，自主研发杜瓦自动组装激光焊机，实现了全流程自动化上下料、微米级高精度对位、激光密封焊接；该设备兼容多规格杜瓦瓶与冷屏组件封装需求，从封装源头保障杜瓦组件的真空密封性与结构稳定性。

制冷型红外焦平面探测器测试方面，清大天达自主研发了红外MEMS专用综合测试系统，深度适配低温制冷工作特性与高精度成像测试需求。设备支持多工位并行测试、多温度点黑体标定测试，可精准检测器件探测灵敏度、成像均匀性、响应率、噪声等效温差等核心参数，做到批量化测试，大幅提升了测试效率与数据准确性，完全匹配制冷探测器高精密、高稳定性的品质管控标准。

除整机成品性能测试外，针对探测器核心精密零部件测试，清大天达配套开发陶瓷引线环性能检测系统、管脚全自动尺寸测量机，实现全制程质量闭环管控。陶瓷引线环性能检测系统可精准完成引线环上下电极导通性、绝缘性参数检测，兼容多规格零部件，单机小时产能可达30件以上，测试数据自动归集、存档，实现数字化、可追溯性的标准化品控。管脚全自动尺寸测量机支持多引脚同步并行尺寸精度检测，可将每一单品的测试数据与产品唯一身份编码绑定归档，实现零部件来料、加工、测试、质检全流程溯源，筑牢器件前置品质防线，从源头降低整机失效风险。

红外探测器制冷组件测试方面，清大天达研发了高精度全自动充排气设备，完成红外探测器制冷组件全自动高真空抽除、高纯惰性气体精密充填工序；支持多工位模块化定制，完全适配红外精密器件标准化、规模化真空制备量产工艺。

制冷型红外探测器组件清洁方面，清大天达自主研发了干冰精密清洗设备（雪花清洗机），采用纯物理干式清洗工艺，可高效去除器件表面微米、亚微米级微颗粒污染物，全程无化学药剂残留、无基材损伤、无静电损伤，完美适配制冷型杜瓦组件、冷屏、芯片的超高洁净度制造要求。设备支持全自动上下料、物料缓存与自动化流转，可适配多型号制冷型红外探测器组件标准化清洗作业，满足高端制冷红外器件超精密制造标准。

非制冷型红外焦平面探测器制造方面，清大天达自主研发吸气剂激光焊接设备，搭载高精度视觉定位系统，可适配片状、烧结型两大类主流吸气剂器件，自动完成精准对位、激光熔接、焊点缺陷检测全制程作业，保障探测器内部真空环境的长效稳定性，为非制冷型红外焦平面探测器、低损耗运行提供核心工艺保障。

非制冷型红外MEMS探测器的微纳结构装配方面，清大天达自主研发了探测器精密对位组装设备，实现非制冷MEMS传感芯片、焊料薄片、可阀框片及窗片等多种微型物料的微米级精准对位与贴合组装，有效规避微纳装配偏移、虚贴、错位等工艺问题，保障非制冷红外器件核心组件的装配精度、结构一致性与批量稳定性，为非制冷红外MEMS器件规模化、高品质量产提供核心装备支撑。

红外MEMS探测器测试方面，清大天达搭建全闭环、全参数、高精度红外探测器测试验证体系，针对制冷型、非制冷型两类探测器的差异化技术要求，打造专属测试装备与测试工艺，全面保障不同品类器件的出厂性能指标合规。专属测试设备适配性更广、量产适配性更强，可全面兼容晶圆级、金属封装、陶瓷封装等多种主流封装形态器件。系统可自动生成标准化芯片Mapping测试图谱，实现像素性能全域扫描与缺陷筛查，精准识别像素坏点、响应异常等工艺问题。全系非制冷测试设备搭载二维码全流程溯源系统，支持测试脚本自定义配置、工艺参数灵活调试，可充分满足研发试样验证、工业化批量量产双重场景需求。

红外MEMS探测器的真空激活方面，清大天达自主研发的吸气剂电激活设备，可对陶瓷封装探测器内置吸气剂实现精准、可控的通电激活，实时采集、存储、分析激活全过程曲线数据，精准判定吸气剂激活效率与活化效果，保障器件长期真空吸附能力。

目前，清大天达针对制冷型、非制冷型红外探测器打造出全制程自动化智能装备矩阵，已批量应用于高端红外探测、精密光电成像、航空航天、高端装备制造等核心领域。依托两类探测器全覆盖的专属工艺装备布局、自主可控的核心工艺技术、稳定可靠的设备性能及完善的售前售后技术服务体系，清大天达已成为国内制冷、非制冷红外MEMS传感器及红外探测器专用智能制造装备的核心配套供应商。

未来，清大天达将持续深耕红外光电MEMS智能制造装备细分赛道，持续聚焦核心工艺攻关与装备迭代升级，突破高端光电精密制造装备的技术壁垒，以国产化、高精度、智能化的专用装备赋能红外光电产业链自主可控，助力国内高端红外MEMS传感器、红外探测器产业实现高质量、规模化、高端化发展。