EV集团推出面向大批量生产的下一代 EVG®120 全自动涂胶机 全新超紧凑平台集成原位光刻胶厚度测量与晶圆边缘曝光功能，兼具 EVG®150 级别性能，在更小占地空间内实现高度灵活性。 全自动涂胶机 半导体设备 2026-02-25
