中微电子推出12英寸薄膜沉积设备,已导入客户端进行生产线核准 中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备,可加工微米级和纳米级的各种器件。 半导体设备 中微电子 2023-05-11