高精度测量

半导体精密运动如何获得纳米级位置反馈？METIRIO光电编码器技术解析

在半导体设备中，运动平台能否移动只是第一步。更关键的问题是：设备是否能够持续确认晶圆、样品、探针或光学组件当前的实际位置。随着检测、对准和精密运动进入更小尺度，温度漂